近日，继刻蚀设备、立式炉设备后，北京电控所属北方华创PVD设备出货量突破1000台，标志着北方华创在半导体核心装备领域再上新台阶。PVD（物理气相沉积）技术是芯片制造的关键环节，对芯片性能至关重要。

　　作为中国PVD工艺装备技术开拓者，北方华创自2008年起深耕PVD装备研发，成功推出40余款量产型PVD设备，累计出货量达1000台、超5000个腔室，已成为国内领先的PVD设备解决方案提供商。该产品广泛应用于逻辑、存储、功率器件、先进封装、硅基微型显示、MEMS（微机电系统）、半导体照明等半导体及泛半导体领域，为产业发展筑牢坚实支撑。

　　通过持续技术攻坚，北方华创PVD团队在磁控溅射源设计、高真空静电卡盘、等离子体产生及控制、腔室设计与仿真模拟、颗粒控制、软件控制等多项关键技术上取得系列突破，构建起具自主知识产权的核心技术优势。其设备应用跨越半导体领域多个技术代，实现设备的产业化及对逻辑和存储芯片金属化制程的全面覆盖。下一步，北方华创继续秉持以客户需求为导向的持续创新理念，聚焦半导体基础产品领域，以先进解决方案推动产业进步，向更高目标迈进。